能研8710 - 氣體質量流量控制器的簡介

8710 型質量流量控制器 (MFC) 尤其適用于腐蝕性氣體的質量流量控制，這類氣體需要一個介質隔離的傳感器。毛細管熱傳感器可以實現快速響應。一個直動式 Bürkert 比例閥作為執行元件，確保了良好的響應靈敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具備的控制特性。8710 型設備可以針對兩種不同的氣體進行校準，用戶可以在兩者之間進行切換。作為電氣接口，既提供模擬標準信號，也提供現場總線。